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磁控溅射镀膜设备结果公告
信息来源: ******[查看]
|地区:全国
|类型:结果公示
基本信息
信息类型:结果公示
区域:全国
源发布时间:2025-10-16
项目名称:******[查看]
项目编号:******[查看]
招标单位:******[查看]
中标单位:******[查看]
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中标信息

成交供应商: ******有限公司    
选择理由: 总价最低,推荐成交    
质疑投诉说明: 如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至招标与采购中心,逾期不予受理。
项目名称 磁控溅射镀膜设备 项目编号 TYLGJJCG2025-0152
项目编号 TYLGJJCG2025-0152
公告发布日期 2025/10/13 09:54 报价截止时间 2025/10/16 09:54
报价截止时间 2025/10/16 09:54
采购单位 ******大学 付款条款 签订合同后,供应商在合同约定交货时间内将货物送到采购人指定地点,并完成安装、调试,经采购人技术验收合格,采购人在收到供应商开具的增值税发票后30日内向供应商支付合同金额100%,否则,按合同约定扣除相应违约金后,支付剩余合同金额。
付款条款 签订合同后,供应商在合同约定交货时间内将货物送到采购人指定地点,并完成安装、调试,经采购人技术验收合格,采购人在收到供应商开具的增值税发票后30日内向供应商支付合同金额100%,否则,按合同约定扣除相应违约金后,支付剩余合同金额。
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
采购预算 ¥195,000.00 成交金额 ¥190,000.00
成交金额 ¥190,000.00
送货/施工/服务期限 合同生效之日起30日内
送货/施工/服务地址 ******学院405室

   采购清单 1
采购内容 是否进口 计量单位 采购数量 售后服务 分项报价
磁控溅射镀膜设备 1 1)所供货物自技术验收合格之日起,享受2年免费配套服务; 2) 免费配套服务期内,设备出现非人为因素操作不当产生的问题,由生产厂商免费维护、免费维修、免费更换; 3)免费配套服务期内,在接到用户要求进行技术支持的正式通知(含电话或邮件通知)后,生产厂商技术人员于48小时内,赶到技术服务现场;此外,对使用设备人员进行免费培训。 ¥190,000.00
品牌及型号 苏州光拓(GT400A-Y1)   苏州威格(LGPVD400-1)  
技术参数要求 1.底盘结构采用型材搭建或焊接式框架,外观要求氧化处理或喷漆,防止生锈; 2.底部带有轮子,可推动,并带有可调节高度的支脚。 3.带有机械旋转手臂,有多角度调节操作界面。 4.电气控制集成到底盘上,与真空腔体一体式。 5.基片架结构上基片盘可以容纳4片19.1mm*19.1mm小基片,并可在线切换两次掩膜板,下基片盘采用嵌入式结构,可搭载1片6英寸基片。 6.基片可上下升降,行程50mm,电机驱动实现连续旋转,最大转速可达30转/分钟,通过磁流体与基片托盘连接。 7.配有二个挡板,气缸驱动,二个挡板组合使用,可遮挡4片19.1mm*19.1mm与1片6英寸基片。 8.强磁靶1个,3英寸,带靶挡板,靶角度可调节,可溅射金属及金属氧化物以及其它材料。 9.靶通水冷,保护磁铁在高温溅射过程中消磁,工作压强(溅射):0.1~10 Pa,溅射不均匀性≤±5%。 10.配备3路MFC控制器,氩气、氧气、氮气,流量上限分别为100sccm, 10sccm, 100sccm。 11.1台射频电源,功率不小于300W,13.56 MHz. 12.采用工控机控制模式,相关的操作均在工控机界面完成。 13.控制软件的真空系统分为自动和手动模式,可以随时切换。 14.带有一键自动溅射功能。 15真空室由不锈钢制成,内部尺寸约为400mm*400mm*450mm,装有基础结构和挡板的固定装置,以及靶、真空泵、样品盘等装置。 16.真空腔体配备两个可以完全打开的门,前门为移门,通过与直线导轨,滑块等装置连接,可使前门左右开启与关闭,后期也可以连接手套箱,在手套箱内部操作前门开关,确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中;后门旋转门,通过旋转轴实现后门的开关,开启后腔体内部完全暴露在空气中,主要的目的为维护检修,并配两个长方形观察窗,配合腔体外部照明灯,方便观察腔体内部状况。腔体极限真空优于5*10^-5pa,从常压到5*10^-4pa不超过15min(充氮气保护),保压12小时,压强小于10Pa。 17.带有旁抽系统,可以在不关闭分子泵的条件下,打开腔室,进行样品及靶材的更换。 18.腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,后期可安装金属防污挡板。 19.前级泵的抽速不低于24m3/h。 20.主泵采用抽速≥700l/s的分子泵。 21主泵和腔室之间安装有气动插板阀,通径≥160mm。 22.自动抽气控制,带安全互锁功能。 23.真空室配真空计,测量范围为大气至10^-5pa。

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快照:2025-10-16
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